不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同,。因此往往須由一套真空機(jī)組來完成,，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來,。

 1,、泵都有起始工作壓強(qiáng),，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍,。因此前級泵須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作,。增加一臺(tái)中真空泵與前級低真空泵配合形成真空泵機(jī)組,，可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力,，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力,，保證了設(shè)備的使用效率,。

 2,、高真空泵都有前級耐壓的限制,，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作,。而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時(shí),，往往抽速會(huì)減小，這樣前級泵的排氣流量可能會(huì)小于主泵的排氣流量,，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,，必然會(huì)引起真空機(jī)組不能正常工作,。在高低真空泵之間再連接一臺(tái)中真空泵，便可起到承上啟下的作用,，流量連續(xù),，而且各泵皆可工作在正常狀態(tài)。

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