真空泵機(jī)組是由不同類型的前級(jí)泵（水環(huán)式真空泵、旋片式真空泵,、羅茨真空泵等）和其他泵串聯(lián)而成的設(shè)備,，有較高的工作效率，而且使得其可以適應(yīng)更多的工作環(huán)境以及場(chǎng)合,，這根不同泵在使用時(shí)不同的工作原理也是有很大關(guān)系的,。

真空泵機(jī)組的工作原理我們要從不同的前級(jí)泵來(lái)了解：

1、羅茨真空泵工作原理

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出,。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹,。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣,，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,，則有一部分氣體返沖到空間v0中去,，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),，氣體排出泵外,。

2、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵,。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33&times,；10-2（pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵,。它已廣泛地應(yīng)用于冶金,、機(jī)械、軍工,、電子,、化工、輕工,、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門,。

3、水環(huán)式真空泵工作原理

水環(huán)式真空泵葉片的葉輪偏心地裝在圓柱形泵殼內(nèi),。泵內(nèi)注入一定量的水,。葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，將水甩至泵殼形成一個(gè)水環(huán),，環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切,。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環(huán)間的進(jìn)氣空間4逐漸擴(kuò)大,，從而形成真空,，使氣體經(jīng)進(jìn)氣管進(jìn)入泵內(nèi)進(jìn)氣空間。隨后氣體進(jìn)入左半部,，由于轂環(huán)之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強(qiáng),，于是氣體經(jīng)排氣空間及排氣管被排至泵外。

對(duì)真空泵機(jī)組工作原理的了解和認(rèn)識(shí),，可以使用戶在使用機(jī)組時(shí)更得心應(yīng)手,，同時(shí)對(duì)設(shè)備的正確使用以及維護(hù)保養(yǎng)等工作也都有很大的幫助作用。

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