分子泵 
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,，尤其是濺射,、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子

泵和牽引泵作為主泵,。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽

速,，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板,，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲,，其他

氣體則由分子泵抽走,。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量,。隨著中國

半導(dǎo)體工業(yè),、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn),。首先，分子泵要

從小到大建立完整系列,，以滿足不同場合的需要,。

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