1,、真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
2,、真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示,。真空度高表示真空度“好”的意思,，真空度低表示真空度“差”的意思,。
3、真空度單位
通常用托（Torr）為單位,，近年國際上取用帕（Pa）作為單位,。
1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱
4、托與帕的轉(zhuǎn)換
1托＝133.322帕 或 1帕＝7.5×10-3托
5,、平均自由程
作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ”表示,。
6,、流量
單位時(shí)間流過任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示,，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）,。
7,、流導(dǎo)
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s）,，在穩(wěn)定狀態(tài)下,，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”,。 U＝Q/(P2- P1)
8,、壓力或壓強(qiáng)
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示,。
9,、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）,。
10,、極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度,，此真空度稱為極限真空,。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空,，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次,，取其10次的平均值為極限真空值。
11,、抽氣速率
在一定的壓強(qiáng)和溫度下,，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速,。即Sp＝Q/（P－P0）
12,、熱偶真空計(jì)
利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì),。
13,、電離真空計(jì)（又收熱陰極電離計(jì)）
由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面,。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集,，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì),。
14、復(fù)合真空計(jì)
由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,，測量范圍從大氣~10-5Pa,。
15、冷陰極電離計(jì)
陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板,，在外加磁場作用,，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì),。
16,、電阻真空計(jì)
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,，通過電橋電路來測量真空度的真空計(jì),。
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