選用液環(huán)真空泵時(shí),,需要注意下列事項(xiàng):
1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)?! ?/span>
2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,?! ?/span>
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4,、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,,兩者組合起來,,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來使用,?! ?/span>
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵,、液環(huán)真空泵
分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求,。
6,、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣、顆粒,、及腐蝕性氣體,,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器,、除塵器等,。
7,、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。
8,、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,?! ?/span>
9、真空泵的價(jià)格,、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用,。
官網(wǎng):ipowerdg.com