選用液環(huán)真空泵時,，需要注意下列事項：　　

1,、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級?！　?/span>

2,、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而,，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好?！　?/span>

3,、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,?！　?/span>

4、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來,，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速,，兩者組合起來,，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下工作,，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓,，需要前級泵,，故都需要把泵組合起來使用?！　?/span>

5,、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵,，如：水環(huán)泵,、液環(huán)真空泵

分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施,，如加冷阱、障板,、擋油阱等,，也能達到清潔真空要求?！　?/span>

6,、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等,。選擇真空泵時,，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器、除塵器等,?！　?/span>

7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外,。　　

8,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施?！　?/span>

9,、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用,。

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